中频电源是广泛应用在太阳能电池制造及真空镀膜过程中，等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）镀膜工艺上的特种电源。

产品特点：

1.采用先进的软开关技术，环保

2.FPGA+ARM全数字化控制平台，智能更可靠

3.快速的电弧响应，响应时间＜100ns

4.模块化冗余设计，标准机架安装方式，维护方便

5.极低电弧能量，快速的电弧检测和灭弧方法